東芝、低コストな量産向けMEMSパッケージング技術2種類を開発 3枚目の写真・画像

　東芝は30日、携帯電話などの無線システムなどに向けて開発が進められているMEMS（微細駆動装置）について、ローコストな2種類のパッケージング技術を開発したと発表した。