エプソン、高温ポリシリコンTFT液晶パネルの新工場「千歳事業所」を本格稼動 | RBB TODAY

エプソン、高温ポリシリコンTFT液晶パネルの新工場「千歳事業所」を本格稼動

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 セイコーエプソンは19日、北海道千歳市の工業団地「千歳美々ワールド」に建設した高温ポリシリコンTFT液晶パネル(HTPS)製造のための新工場「千歳事業所」を予定どおり4月から本格稼動し、4月19日に初出荷式を行ったと発表した。

 千歳事業所は、同社初の300mm(12インチ)ウェハー石英ガラスを使った液晶プロジェクターおよび大型液晶プロジェクションTV向けHTPSの製造ラインとなる。

 同社はこれまで、プロジェクションシステム向けのHTPSの製造を長野県・富士見町の「諏訪南事業所」にて200mm(8インチ)ウェハーで行っていたが、拡大する液晶プロジェクター市場の需要に応え安定した供給対応を実現するために、千歳事業所を本格稼動させたとしている。

 新工場では、300mm(12インチ)ウェハー石英ガラスによる最先端HTPS製造の新技術を導入し、投入能力2000wf/月(12インチ)で本格量産を開始しているが、今後は市場動向にあわせ順次増強していくという。

※HTPS:High Temperature Poly-Sillicon TFT
《村上幸治》

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