エンタープライズ

RBB検索

この記事をブックマークする：

東芝、低コストな量産向けMEMSパッケージング技術2種類を開発

　東芝は30日、携帯電話などの無線システムなどに向けて開発が進められているMEMS（微細駆動装置）について、パッケージングを実気圧に近い状態で行う「実圧気密方式」において、水の侵入を許さない小型の気密中空構造の作製技術と、パッケージングを真空状態で行う「真空気密方式」において、真空の中空構造をより強固にする技術の2種類のパッケージング技術を開発し、両方式ともウエーハプロセスでの一括処理を実現することで、低コストでのMEMSパッケージングを可能にしたと発表した。


【左】実圧気密方式のパッケージング構造【右】真空気密方式のパッケージング構造

　今回開発されたのは、MEMS可動部分を保護するための中空構造を作製する２つの方式である「実圧気密方式」と「真空気密方式」における実装技術。また、両方式でパッケージングしたMEMSについて、ドライバICを搭載したものとしては世界最薄となる0.8mmのマルチチップパッケージの試作にも成功した。

　実圧気密方式は、中空構造の作製において、可動部分を覆う犠牲層と呼ばれるポリマー層をSiO2（二酸化ケイ素）膜で覆った後、膜上に複数の穴を開け犠牲層を除去（エッチング）し、さらに樹脂を塗布して穴を封止したもの。今回、樹脂の表面張力を考慮して、穴の直径と形状およびその間隔を最適化することで、エッチング効率向上と樹脂の流入防止を両立することに成功したほか、CVD法により無機膜をハイブリッド構造で積層することで、気密性を実現し、水の侵入を許さない耐水性パッケージを実現した。


【左】実圧気密方式のパッケージ作製プロセス【右】真空気密方式のパッケージ作製プロセス

　真空気密方式は、中空構造の外形を波型にすることによって大気圧によって潰れることのない強固な構造としたことにくわえ、犠牲層をエッチングする穴の形状を円形から楕円形にすることで製造過程における応力を低減し、破損の危険性を低減している。また、厚い補強樹脂を積層することで、その後のマルチチップパッケージへの搭載において、高圧が必要とされる樹脂成形工程の適用も可能としている。

(富永ジュン@RBB 2008年5月30日 15:55)

キーワード：

MEMS 半導体ジャイロセンサモーションセンサ

<img src="http://ad.rbbtoday.com/ads/?img_src=1;position=223"/>

関連用語

	IC

ここへ来た人はこんなニュースも見ています

	夏の甲子園、8強出揃う～本日8/15より準々決勝(2008年8月15日) IIJ、3月期第1四半期決算を発表！モバイルソリューションに期待：Enterprise(2008年8月13日) ジュニパー、Vista/XP上で運用可能なUAC製品専用ソフトウェア「UAC2.2」の無償提供を開始：Enterprise(2008年8月5日)

関連記事

	【WILLCOM FORUM ＆ EXPO 2008 Vol.1】次世代に向けて走り出す――WILLCOMが提案するワイヤレスBBの世界 (2008年5月27日) 東芝、USBメモリ対応のプレゼン向け軽量DLPプロジェクタ――レーザーポインタ付きリモコン付属 (2008年5月26日) 東芝、クアッドコアXeon/デュアルコアPentiumが選択できる1way IAサーバ「MAGNIA LiTE41S」 (2008年5月26日) YouTubeのモバイル対応端末がauにも拡大 (2008年5月22日) KDDIのセルDVD配信サービス「DVD Burning」、東芝「ヴァルディア」に6/30対応開始 (2008年5月15日) 東芝、フルHDで長時間録画が可能な「VARDIA」新モデル (2008年5月15日) 東芝、HDD内蔵ビデオカメラ「gigashot」シリーズ4製品を約50％値下げ――フルHD対応モデルが59,800円から (2008年5月15日) MasterCardと東芝、「PayPass」対応の非接触型チップ・モジュールの開発で協力 (2008年5月14日) モノトーン「ヨン様ケータイ」vs.超ド派手「倖田來未ケータイ」～SBモバイルから発売開始 (2008年5月9日)

【特集】価格で比較！専用サーバガイド

SaaS インタビュー＆事例紹介

	【インタビュー】企業メールの緊急課題を解決！満足度9割超のサービスを探る

	【事例紹介】文書共有時のセキュリティ管理――イーソリューションズが選んだSaaS型サービスとは

	【インタビュー】携帯向け企業サイトの課題を打開！　BIGLOBEのSaaS型サービスとは

09年新卒のみなさんに
RBB TODAYからお知らせです

プロセス

携帯電話

ドライブレコーダー　パパラッチ

ショップジャパントゥルースリーパープレミアム

パソコンチェアにも最適　3ポイントクッションメッシュチェアー

SHARP WIDE32V型地デジ対応　ハイビジョン液晶テレビ“AQUOS Dシリーズ”

アウトレットローソファーカウチソファ


	9/10	次世代ネットワークにおけるイーサネット技術
	9/25	ＮＴＴグループのＩＰＴＶサービス本格化
	9/26	ＩＰＴＶ勝者の条件
	9/26	ＡＳＰ・ＳａａＳ構築ガイド講座
	10/17	次世代クルマ時代の『車載』の革新
	10/21	２０１０年の競争政策－「通信」・「放送」分野の争点と決着は？
	11/17	グーグル『ストリートビュー』の光と影


	9/6	病院の生き残りを賭けた建て替えに失敗しないヒント～第３弾～
	9/8	収益はどこにあるか？米国放送・通信事業者の戦略に見る
	9/9	できてますか！あなたの会社の新型インフルエンザ対策
	9/9	進化する「モバゲー」次世代戦略
	9/10	次世代ネットワークにおけるイーサネット技術
	全セミナーリストへ