メルマガ購読
富士通研究所と富士通は12日に、32ナノメートル（以下、nm）世代以降のロジックLSI向け技術として、マンガンを添加した銅配線と、超薄膜のバリアメタルを用いることにより、信頼性の高い多層配線を実現する技術を開発したことを発表した。
45nm世代までのLSIで用いられるCu配線は、Cuを保護するためにバリアメタルで周りが覆われているが、32nm世代のような微細なCu配線に対してバリアメタルの占める割合が大きくなると、配線抵抗が増加してしまうため、信頼性の確保が難しかった。
この新技術では、超薄膜のバリアメタル上にマンガン（Mn）を添加したCu配線を形成することで3分の1に薄膜化し、配線抵抗の低減と高信頼性の確保を両立させることに成功した。従来技術と比べて配線抵抗を効果的に低減するとともに、LSIの配線における経年劣化の要因となる「エレクトロマイグレーション」（銅原子の移動による空孔発生現象）に対する耐性を従来の47倍に向上させ、32nm世代に要求される配線抵抗と信頼性の確保とを両立させることが可能とのこと。
なお、米国ワシントンD.C.で12月10日から開催されている半導体の国際学会「IEDM」（International Electron Devices Meeting）にて本技術の発表が行われている。
富士通研究所、32nm世代以降のロジックLSI向けの高信頼性多層配線技術を開発
2007年12月13日(木) 14時54分
開発した多層配線構造
《冨岡晶》
注目ニュース
富士通は12月1日より、マルチメディア情報向け車載ネットワークの国際規格IDB-1394に準拠したコントローラーLSI「MB88388A」および「MB88389」の2製品のサンプル出荷を開始する。
富士通は28日、ドコモおよび富士通研究所と共同で試作機開発を進めていた「Super 3G無線基地局装置」において、無線高速大容量通信の基幹技術である「MIMO」の適用により、下り900Mbpsの伝送...
富士通と富士通研究所は12日、周囲の物体の形や動きを3次元でリアルタイムに認識する処理を行う独自アーキテクチャのLSIを開発した。
7日に放送される「ラグビーワールドカップ2007」の生中継において、世界で初めてのH.264方式による日欧間のフルHD映像伝送の生中継を行う。
富士通研究所は5日、 IP電話やインターネット上の映像配信など大規模なネットワークサービス向けに、ユーザの体感品質（QoE：Quality of Experience）を定量化し、「見える化」する技...
特集
- ├富士通、ビッグデータの負荷増減に素速く対応する分散並列型の複合イベント処理技術を開発
- ├富士通研、スマートシティへの展開に向けたピーク電力削減技術を開発
- └富士通研、CPUの廃熱を用いてサーバの冷却用水を製造する技術を開発
- ├東北大とNEC、不揮発性論理回路で世界最高の動作周波数600MHzを達成
- ├ソニー、複数NFCに対応した無線通信LSIを商品化……Felica／Type A／Type Bに対応
- └ルネサス、高性能車載ディスプレイ向けシステムLSIをサンプル出荷
